四氟化碳在常溫常壓下為無色無臭有輕微醚味的氣體。四氟化碳空氣中不燃燒,是比較穩定的無毒物質。但是在高溫時,或與可燃氣體一同燃燒時,四氟化碳分解出有毒的氟化物。在1000℃以上能與二氧化碳形成羰基氟。四氟化碳微溶于水,在25℃,101.325kPa時,水中溶解度為0.0015%(重量)。有輕微的水解作用。四氟化碳是目前微電子工業中用量最大的等離子蝕刻氣體,可廣泛應用于硅、二氧化硅、氮化硅,磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻,在電子器件表面清洗,太陽能電池的生產,激光技術、氣相絕緣、低溫制冷、泄漏檢驗劑、控制宇宙火箭姿態,印刷電路生產中的去污劑等方面也大量使用。由于它的化學穩定性,四氟化碳可用于金屬冶煉。